GBT 28633-2012 表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性

表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性
Surfacechemicalanalysis.X-rayphotoelectronspectroscopy.Repeatabilityandconstancyofintensityscale

摘要:本标准规定了常规分析中一种评估X射线光电子能谱仪强度标的重复性和一致性的方法，采用非单色Al/Mg或单色AlX射线源。本标准只适用于装有溅射离子枪的仪器。本标准不做强度/能量响应函数的校准。此校准应由仪器制造厂家或其他合格机构完成。本标准提供的数据用于评估和确认仪器使用期间强度/能量响应函数保持恒定的准确度。本标准提供了一些可能会影响一致性的仪器设置指导意见。

标准编号：GB/T28633-2012
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2012年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2013年1月1日
关键词：化学分析和试验,X射线,光电子器件,表面分析,表面性质,强度,CHEMICALANALYSISANDTESTING,X-RAYS,XRAYS,X-RAY,OPTOELECTRONICDEVICES,SURFACEANALYSIS,SURFACEPROPERTIES,SURFACEPROPERTIES,INTENSITY,STRENGTH

GB/T 28633-2012 表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性.pdf

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