GBT 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定

表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
Surfacechemicalanalysis.AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy.Determinationoflateralresolution

摘要:本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适用于横向分辨率预期值大于20nm，小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。

标准编号：GB/T28632-2012
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2012年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2013年1月1日
关键词：化学分析和试验,X射线,光电子器件,分辨率,表面分析,表面性质,CHEMICALANALYSISANDTESTING,X-RAYS,XRAYS,X-RAY,OPTOELECTRONICDEVICES,RESOLUTION,SURFACEANALYSIS,SURFACEPROPERTIES,SURFACEPROPERTIES

GB/T 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定.pdf

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