文档名：单基体多镀层膜厚标准的设计及应用研究
通过分析现有镀层膜厚标准器的结构、使用特点及膜厚量值溯源中存在的问题,基于单镀层膜厚溯源技术和真空镀膜技术,设计研制成单体多材料多厚度的镀层膜厚标准器;通过高精度接触式台阶仪和非接触式光学膜厚仪进行膜厚量值的溯源,并应用于X射线荧光镀层测厚仪的误差校准.通过实验验证和对测量结果分析研究表明:2种不同膜厚溯源方法和技术特性具有较好的一致性,应用于X射线荧光镀层测厚仪的示值误差校准达到了预期的效果和测量不确定度要求.单体多材料多厚度膜厚标准为各种膜厚测量仪器的高精度校准和溯源提供了一种新技术方法,具有重要推广应用价值.
作者：朱小平杜华王凯赵沫徐真杰
作者单位：中国计量科学研究院,北京100029
母体文献：2017全国几何量精密测量技术学术交流会论文集
会议名称：2017全国几何量精密测量技术学术交流会
会议时间：2017年9月1日
会议地点：甘肃酒泉
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：镀层膜厚计标准器 结构设计 误差校准 不确定度
在线出版日期：2020年10月26日
基金项目：
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