文档名：多相振动辅助抛光装置开发及实验研究
研究表明,振动辅助加工技术是一种行之有效的高效和高质量硬脆性材料加工技术.为进一步促进振动辅助加工技术的发展,本文研究并设计了一款新型3相振动辅助抛光工具头,可在机床工作台平面的法向方向上,产生3组互相独立的参数可调的微幅振动运动,最大振幅12um,频率20-2∞Hz,可使加工面整体上下振动或形成较为复杂的振动面型,通过改变加工的运动轨迹来影响加工效果.利用该工具头,以无振动的抛光加工为对比对象,本文研究了振动对抛光作用力影响的频率特性、波形特性及电压特性,解释了振动促使作用力曲线锯齿化的原因,初步分析了不同波形的振动下作用力曲线发生不同变化的原因,并采用该技术抛光加工了多晶硅靶材,结果发现在相同加工条件下,振动辅助抛光可大幅减少工件的表面杂质和表面凹坑类缺陷,说明本文设计开发的多相振动辅助抛光工具头具备较好的高效精密抛光加工能力.
作者：李陈磊彭云峰王振忠
作者单位：厦门大学机电工程系厦门361000
母体文献：第十九届中国磨粒技术学术会议论文集
会议名称：第十九届中国磨粒技术学术会议
会议时间：2017年8月1日
会议地点：哈尔滨
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：TG5R31
关键词：精密加工 振动辅助抛光 多相抛光头 抛光作用力
在线出版日期：2021年12月15日
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