MEMS晶圆片测试系统绝缘电阻参数校准技术研究.pdf
MEMS晶圆片测试系统是MEMS产品在片测试的关键中测仪器.本文针对其在片绝缘电阻参数无法溯源的现状,制作在片标准件,解决了兆欧级电阻参数的校准问题,保证了MEMS产品绝缘特性测试的准确度,为在片绝缘电阻参数的校准提供了有效的解决方案.
作者：乔玉娥范雅洁杜蕾李盈慧
作者单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,河北,石家庄050051
母体文献：2015国防无线电电学计量与测试学术交流会论文集
会议名称：2015国防无线电电学计量与测试学术交流会
会议时间：2015年9月1日
会议地点：北京
主办单位：中国宇航学会
语种：chi
分类号：TN3TP2
关键词：微电子产品 晶圆片测试系统 电阻参数 绝缘特性 校准技术
在线出版日期：2016年6月22日
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