LED行业用废氨气处理技术.pdf
MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放.本文对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点.从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低的大气的污染.
作者：孙猛
作者单位：苏州金宏气体股份有限公司,苏州,215152
母体文献：全国特种气体第十九次年会论文集
会议名称：全国特种气体第十九次年会
会议时间：2015年10月1日
会议地点：青岛
主办单位：全国特种气体信息站,中昊光明化工研究设计院有限公司
语种：chi
分类号：X70TQ1
关键词：发光二极管工程 废氨气 尾气处理技术 排放控制
在线出版日期：2016年4月18日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 742.04 KB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
