EBIC技术与ZnO压敏电阻势垒.pdf
本文简略综述了EBIC(ElectronBeamInducedCurrent,电子束感应电流)技术,EBIC技术是在扫描电镜基础上发展出来的一种研究半导体材料和电子陶瓷材料的p-n结、缺陷和晶界的检测技术.利用EBIC技术研究ZnO压敏电阻的晶界势垒发现在导电情况下有些晶界势垒是不激活(inactive)的,不激活的势垒与添加物的不均匀性有关,并影响ZnO压敏电阻的电性能.
作者：范积伟
作者单位：中原工学院郑州450007
母体文献：中国电子学会敏感技术分会电压敏专业学部第二十二届学术年会论文集
会议名称：中国电子学会敏感技术分会电压敏专业学部第二十二届学术年会
会议时间：2015年10月27日
会议地点：杭州
主办单位：中国电子学会
语种：chi
分类号：TN3TB3
关键词：氧化锌压敏电阻 电子束感应电流 晶界势垒 电性能
在线出版日期：2017年12月4日
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