真空电弧离子溅射设备技术研究.pdf
本文介绍了一种真空电弧离子溅射设备,该设备采用电弧激发阴极等离子体的方法可以将阴极靶材材料以离子的形式溅射至阳极基体表面.采用该设备在铌钨合金(Nb521)发动机喷管基体表面镀覆钼涂层,结合后续渗硅工艺制备的MoSi2涂层,经试验、试车验证,可以将耐高温抗氧化温度提高300℃以上.
作者：刘广续胡敏梁宝恩
作者单位：西安航天发动机厂特种装备研究所
母体文献：2017航天先进制造技术国际研讨会论文集
会议名称：2017航天先进制造技术国际研讨会
会议时间：2017年6月21日
会议地点：深圳
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：TM5TG1
关键词：航空发动机 喷管基体材料 铌钨合金 钼涂层 真空电弧离子溅射设备 抗氧化温度
在线出版日期：2020年6月22日
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