锑化物中红外带间级联激光器研究.pdf
3～6μm波段作为重要的大气窗口,拥有许多重要的分子特征谱线.高性能的中红外激光器在军事和商业方面均有重要应用,如气体探测,空间通讯,环境监控等.带间级联激光器(ICL)作为一种新型激光光源,拥有其独特的性能.ICL的最初概念于1994年由RuiQ.Yang提出,1997年第一次在实验上得到验证,2001年首次实现室温脉冲工作,2008年实现室温连续工作.目前ICL一般采用InAs/GaInSb/InAs的W型量子阱,并在注入区内通过对InAs的高掺杂来实现载流子再平衡以提高性能.ICL除了具有级联结构所特有的高效率优势外,由于其光子辐射是由电子是在导带和价带之间的跃迁产生的,因此弛豫时间比子带间跃迁慢约二至三个数量级,这使得其拥有较小的阈值电流密度,阈值电压和功耗密度.目前ICL在国外的研究已经达到室温连续工作水平,但是在国内未见报道.实验室利用分子束外延技术，通过优化生长工艺，生长得到了高质量的带间级联激光器材料。通过湿法腐蚀，SiN钝化，减薄，解理和封装得到了ICL器件。
作者：余成章 徐志成 陈建新 何力
作者单位：红外材料与器件重点实验室,中科院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院大学,北京,100049;物质科学与技术学院,上海科技大学,上海,201210红外材料与器件重点实验室,中科院上海技术物理研究所,上海,200083
母体文献：2017年光学技术研讨会暨交叉学科论坛论文集
会议名称：2017年光学技术研讨会暨交叉学科论坛
会议时间：2017年9月20日
会议地点：昆明
主办单位：上海市红外与遥感学会,云南省光学学会
语种：chi
分类号：TN2O61
关键词：中红外带间级联激光器 制备工艺 锑化物 光学性能
在线出版日期：2020年6月28日
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