多场耦合微机电系统力学性能研究.pdf
本文研究基于功能梯度材料的微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)非线性结构力学性能问题.考虑机械场、电场及温度场的耦合效应,建立基于功能梯度材料的MEMS梁结构热-机-电耦合非线性力学模型;研究功能梯度MEMS梁失稳特性,综合分析非线性电场力、温度变化及材料梯度参数对吸合失稳特性及非线性振动特性影响规律,研究如何通过调整系统关键参数提高MEMS器件工作性能,尤其满足耐热性能的要求,为MEMS系统设计与优化提供参考.
作者：贾晓丽孙毅陈召君
作者单位：中国石油大学(北京)机械与储运工程学院,102249
母体文献：北京力学会第二十三届学术年会论文集
会议名称：北京力学会第二十三届学术年会
会议时间：2017年1月14日
会议地点：北京
主办单位：北京力学会
语种：chi
分类号：O34TQ0
关键词：微机电系统 力学性能 功能梯度材料 数值模拟
在线出版日期：2020年6月22日
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