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磁控溅射法制备Si1-xGex_B多层薄膜及其热电性能研究

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1 黄金阳光 发表于 2024-10-7 07:12 | 查看全部阅读模式

文档名称：磁控溅射法制备Si1-xGex_B多层薄膜及其热电性能研究
上传时间：2024-10-7 07:12

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磁控溅射, 薄膜, 多层, 热电, 法制

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