文档摘要：研究中以醋酸铈为前驱体,采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)工艺制备了Ce掺杂的CVD金刚石薄膜.采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和拉曼检测,系统地研究了Ce掺杂对金刚石膜的形貌和微观结构的影响.扫描电镜(SEM)检测结果揭示了Ce掺杂可以使薄膜表面生长更多的微米金刚石方晶.X射线衍射(XRD)检测结果表明:Ce的加入可以改变金刚石薄膜中晶粒的择优取向.拉曼(Raman)检测结果显示:当Ce掺杂的通量为0,30,45,60sccm时,对薄膜中金刚石峰的半高宽值分别为10,18,13,9.研究结果表明:适当的Ce掺杂可以提高薄膜中金刚石的结晶质量.
作者：刘学杰 诸葛晨昱 王宇晨Author：LIUXuejie ZHU-GEChenyu WANGYuchen
作者单位：内蒙古科技大学机械工程学院,内蒙古包头014010
刊名：内蒙古科技大学学报
Journal：JournalofInnerMongoliaUniversityofScienceandTechnology
年，卷(期)：2020, 39(3)
分类号：TQ163
关键词：Ce掺杂金刚石薄膜 微波等离子气相沉积 微结构 择优取向 结晶质量
机标分类号：
在线出版日期：2020年10月15日
基金项目：国家自然科学基金资助项目，内蒙古自治区自然科学基金资助项目，包头市科学技术基金资助项目铈掺杂对CVD金刚石薄膜结构的影响[
期刊论文] 内蒙古科技大学学报--2020, 39(3)刘学杰 诸葛晨昱 王宇晨研究中以醋酸铈为前驱体,采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)工艺制备了Ce掺杂的CVD金刚石薄膜.采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和拉曼检测,系统地研究了Ce掺杂对金刚石膜的形貌和微观结构的影响.扫描电镜(SEM)检测结...参考文献和引证文献
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