磷原子在金刚石001表面吸附和迁移的第一性原理研究

文档摘要：采用第一性原理计算方法对磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为进行了系统研究.结果表明:在全氢终止金刚石(001)表面上,磷原子不能够稳定吸附.当氢终止表面上出现1个、2个活性位时,磷原子可以在活性位处稳定吸附,吸附能为2.8至4.5eV.分波态密度分析表明:磷原子吸附后,仍然有未成对电子,保持化学活性,有利于后续沉积粒子的吸附.当氢终止表面上出现3个活性位时,磷原子可以在活性位处吸附,并且可以在活性位之间迁移.迁移激活能小于1.7eV.综上所述,磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为与表面上活性位的数量和分布密切相关.

作者：刘学杰  曹晔Author：LIUXuejie  CAOYe
作者单位：内蒙古科技大学机械工程学院,内蒙古包头,014010
刊名：内蒙古科技大学学报
Journal：JournalofInnerMongoliaUniversityofScienceandTechnology
年，卷(期)：2019, 38(2)
分类号：O647.3
关键词：第一性原理  磷掺杂金刚石  迁移激活能  吸附和迁移  
机标分类号：
在线出版日期：2019年7月19日
基金项目：国家自然科学基金资助项目，内蒙古自治区自然科学基金资助项目磷原子在金刚石(001)表面吸附和迁移的第一性原理研究[
期刊论文]  内蒙古科技大学学报--2019, 38(2)刘学杰  曹晔采用第一性原理计算方法对磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为进行了系统研究.结果表明:在全氢终止金刚石(001)表面上,磷原子不能够稳定吸附.当氢终止表面上出现1个、2个活性位时,磷原子可以在活性位处稳定吸附,...参考文献和引证文献
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2024-10-4 01:24 上传 磷原子在金刚石001表面吸附和迁移的第一性原理研究.pdf

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