低膨胀石英玻璃的制备技术与发展趋势

文档摘要：低膨胀石英玻璃(Low-expansionquartzglass)是指掺有低膨胀氧化物的石英玻璃,其热膨胀系数比一般的石英玻璃低一个或两个数量级,基于这种特质,低膨胀石英玻璃受到了许多人的关注.然而,随着高新技术的快速发展,低膨胀石英玻璃的性能已不能满足新技术领域的需求,直到1968年研制出SiO2-TiO2石英玻璃.相较于其他低膨胀石英玻璃,SiO2-TiO2石英玻璃的热膨胀系数更低,在一定温度范围内甚至可以做到零膨胀或负膨胀,因此掺钛石英玻璃又被称为超低膨胀(Ultralowexpansion,ULE)石英玻璃.SiO2-TiO2石英玻璃凭借优秀的性能被广泛应用于半导体、航空航天、电子、光学等领域.SiO2-TiO2石英玻璃通常有以下几种制备方法——溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、气相轴向沉积法和等离子体化学气相沉积法等,其中,火焰水解沉积法使用较为广泛,具有成熟的工业应用.

Abstract：Lowexpansionquartzglassreferstoquartzglassdopedwithlowexpansionoxides.Itsthermalexpansioncoefficientisoneortwoordersofmagnitudelowerthanthatofordinaryquartzglass.Basedonthecharacteristic,lowexpansionquartzglasshasattractedmanypeople'sattention.However,withtherapiddevelopmentofhigh-tech,theperformanceoflowexpansionquartzglasscannolongermeettheneedsofnewtechnologyfields,until1968,thepreparationofsilica-titaniaglass.Comparedtootherlowexpansionquartzglass,silica-titaniaglasshasalowercoefficientofthermalexpansion,anditcanevenachievezeroornegativeexpansionwithinacertaintemperaturerange.Therefore,silica-titaniaglassisalsoknownasultralowexpansionquartzglass.Withitsexcellentperformance,silica-titaniaglasshasbeenwidelyusedinmanyfields,suchassemiconductors,aerospace,electronics,opticsandotherfields.silica-titaniaglassgenerallyhasfollowingpreparationmethods,suchassol-gelmethod,chemicalvapordeposition(CVD),vaporaxialdeposition(VAD),plasmachemicalvapordeposition(PCVD)andsoon.Amongthecurrentmethodsforpreparingsilica-titaniaglass,flamehydrolysisdepositionmethodiswidelyusedandhavematureindustrialapplications.

作者：王婷  沈一春  钱宜刚  汤明明  马祥  陈峰Author：WANGTing  SHENYichun  QIANYigang  TANGMingming  MAXiang  CHENFeng
作者单位：南通晶体有限公司,江苏南通226010
刊名：材料导报 ISTICEIPKU
Journal：MaterialsReports
年，卷(期)：2024, 38(z1)
分类号：TB321
关键词：低膨胀石英玻璃  SiO2-TiO2石英玻璃  气相沉积  掺杂  
Keywords：lowexpansionquartzglass  silica-titaniaglass  vapordeposition  inclusion  
机标分类号：TP393.09TB42P631
在线出版日期：2024年7月4日
基金项目：低膨胀石英玻璃的制备技术与发展趋势[
期刊论文]  材料导报--2024, 38(z1)王婷  沈一春  钱宜刚  汤明明  马祥  陈峰低膨胀石英玻璃(Low-expansionquartzglass)是指掺有低膨胀氧化物的石英玻璃,其热膨胀系数比一般的石英玻璃低一个或两个数量级,基于这种特质,低膨胀石英玻璃受到了许多人的关注.然而,随着高新技术的快速发展,低膨胀石...参考文献和引证文献
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2024-10-3 23:46 上传 低膨胀石英玻璃的制备技术与发展趋势.pdf

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