300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用

文档摘要：针对晶圆厂OHB系统的建设,通过调研现有OHB系统,总结并优化该系统的几个重点要素,即硬件结构、安装形式和AMHS运输轨道的匹配,以及和AMHS运输车的位置匹配,形成OHB系统的设计思路和方法.参考此方法设计的OHB系统,能充分利用洁净室上部空间,配合AMHS运输轨道和运输车,满足晶圆厂在制品储存的需要,并且不占用洁净室地面面积.该设计思路和方法可以作为晶圆厂OHB系统规划设计的参考.

作者：王岸  尚成硕Author：
作者单位：中国电子工程设计院股份有限公司,北京100142
刊名：智能制造
Journal：IM(IntelligentManufacturing)
年，卷(期)：2024, (3)
分类号：TN305
关键词：全自动物料搬运系统  晶圆厂  AMHS运输轨道  空中储存区  
机标分类号：TN304.057TP311.52U464
在线出版日期：2024年7月2日
基金项目：300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用[
期刊论文]  智能制造--2024, (3)王岸  尚成硕针对晶圆厂OHB系统的建设,通过调研现有OHB系统,总结并优化该系统的几个重点要素,即硬件结构、安装形式和AMHS运输轨道的匹配,以及和AMHS运输车的位置匹配,形成OHB系统的设计思路和方法.参考此方法设计的OHB系统,能充分利...参考文献和引证文献
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2024-10-3 23:10 上传 300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用.pdf

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