标准编号：T/CCGA30003—2019
中文标题：超纯三氟化氮
英文标题：Ultrapurenitrogentrifluoride
国际标准分类号：71.100.20工业气体
中国标准分类号：
国民经济分类：C266专用化学产品制造
发布日期：2019年10月29日
实施日期：2020年01月29日
起草人：郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会
范围：
主要技术内容：本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。
关键词：中国工业气体工业协会,T/CCGA,专用化学产品制造,氟化,超纯三
T_CCGA 30003-2019 超纯三氟化氮.pdf
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