T_CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

标准编号：T/CI334—2024
中文标题：半导体设备隔振系统设计及技术要求
英文标题：Designandtechnicalrequirementsforisolationsystemsinsemiconductorequipments
国际标准分类号：39.020
中国标准分类号：L56
国民经济分类：C398电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2024年04月18日
实施日期：2024年04月18日
起草人：陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀。
起草单位：上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司。
范围：
主要技术内容：本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。　本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。　本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。

关键词：中国国际科技促进会,T/CI,电子元件及电子专用材料制造,半导体设备,系统,技术

T_CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求.pdf

2024-9-29 15:08 上传 T_CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求.pdf

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