T_IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

标准编号：T/IAWBS003—2017
中文标题：碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法
英文标题：
国际标准分类号：29.045
中国标准分类号：
国民经济分类：C398电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2017年12月20日
实施日期：2017年12月31日
起草人：冯淦、陈志霞、钮应喜、张新河、李赟、陆敏、彭同华、刘振洲
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、全球能源互联网研究院、东莞天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所
范围：
主要技术内容：本标准规定了碳化硅（4H-SiC）外延层载流子浓度的测定方法─汞探针电容－电压法。　本标准适用于单层同质碳化硅外延层载流子浓度的测量，要求测量的碳化硅外延层厚度必须大于测试偏压下耗尽层的宽度。载流子浓度测量范围为：1×1014　cm-3　～5×1017　cm-3。　本标准也可适用于碳化硅衬底载流子浓度的测量。

关键词：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟,T/IAWBS,电子元件及电子专用材料制造,载流子,碳化硅,探针

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