T_ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

标准编号：T/ZSA231—2024
中文标题：氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文标题：TestmethodforfullwidthathalfmaximumofdoublecrystalX-rayrockingcurveofGa2O3singlecrystalsubstrate
国际标准分类号：29.045
中国标准分类号：H21
国民经济分类：C389其他电气机械及器材制造
发布日期：2024年05月15日
实施日期：2024年05月16日
起草人：李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋。
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司。
范围：本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
主要技术内容：本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。

关键词：中关村标准化协会,T/ZSA,其他电气机械及器材制造,双晶,射线,曲线

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2024-9-29 11:05 上传 T_ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法.pdf

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