[仪器、仪表] GBT 20175-2006 表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法

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admin 发表于 2024-9-26 16:26 | 查看全部阅读模式

表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法
Surfacechemicalanalysis.Sputterdepthprofiling.Optimizationusinglayeredsystemsasreferencematerials

摘要:为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。

标准编号：GB/T20175-2006
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2006年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2006年1月1日
关键词：化学分析和试验,表面,分析,CHEMICALANALYSISANDTESTING,SURFACE,SURFACES,ANALYSIS,ANALYZING

GB/T 20175-2006 表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法.pdf

化学分析, 层状, 剖析, 深度, 物质

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