GBT 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

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admin 发表于 2024-9-26 14:05 | 查看全部阅读模式

重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
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摘要:

标准编号：GB/T14847-1993
标准类型：CF
发布单位：CN-GB
发布日期：1993年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1994年1月1日
关键词：测量,外延层,厚度,红外线辐射,衬底(绝缘),硅

GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法.pdf

2024-9-26 14:05 上传

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