硬面光掩模用铬薄膜
Chromethinfilmsforhardsurfacephotomasks
摘要:本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜（以下简称铬薄膜）。
标准编号：GB/T15870-1995
标准类型：CP
发布单位：CN-GB
发布日期：1995年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1996年1月1日
关键词：铬,薄膜,thinfilms,chromium
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜.pdf
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