光掩模对准标记规范
Specificationforregistrationmarksforphotomasks
摘要:本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
标准编号：GB/T16524-1996
标准类型：CJ
发布单位：CN-GB
发布日期：1996年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1997年1月1日
关键词：光学仪器,标记,规范,markup,token,specification,opticalinstruments,specifications,marks
GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范.pdf
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