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[电子元器件与信息技术] GBT 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

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admin 发表于 2024-9-26 13:20 | 查看全部阅读模式

微机电系统（MEMS）技术MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
Microelectromechanicalsystemtechnology-TestmethodforthenonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement

摘要:本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件)非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。

标准编号：GB/T34898-2017
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2017年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2018年1月1日
关键词：

GB/T 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法.pdf

2024-9-26 13:20 上传

GBT 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法.pdf

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谐振, 微机, 振动, 元件, 测试

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