SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法

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砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
摘要:

标准编号：SJ3244.2-1989
标准类型：
发布单位：CN-SJ
发布日期：1989年1月1日
强制性标准：是
实施日期：1989年1月1日
关键词：砷化镓,磷化铟,衬底,外延层,晶格失配,测量方法

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晶格, 失配, 衬底, 磷化, 外延

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