SJT 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

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admin 发表于 2024-9-26 11:15 | 查看全部阅读模式

集成电路主要工艺设备术语
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摘要:本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。

标准编号：SJ/T10152-1991
标准类型：
发布单位：CN-SJ
发布日期：1991年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1991年1月1日
关键词：集成电路,工艺设备,术语

SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语.pdf

2024-9-26 11:15 上传

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集成电路, 术语, 工艺设备

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