SJT 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件

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admin 发表于 2024-9-26 11:11 | 查看全部阅读模式

电子束曝光机通用技术条件
Generalspecificationofelectronbeamexposuresystem

摘要:本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。

标准编号：SJ/T10312-1992
标准类型：
发布单位：CN-SJ
发布日期：1992年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1992年1月1日
关键词：电子束曝光机,电子束,技术条件

SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件.pdf

2024-9-26 11:11 上传

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电子束, 曝光

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