设为首页
收藏本站
切换到窄版
首页
BBS
地方标准
参考文献
行业资料
打包下载
文章
登录
注册
医药卫生
经济
文教
农业
环境与安全
交通
工业技术
期刊杂志
电子书
商务办公
建工
电力
新能源
标准解读
工程造价
标准动态
新资汇
»
首页
›
标准
›
行业标准
›
SJT 11761-2020 200 mm及以下晶圆用半导体设备装载端口 ...
返回列表
发布新帖
[SJ电子]
SJT 11761-2020 200 mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
22
0
admin
发表于 2024-9-26 10:53
|
查看全部
阅读模式
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
Specifictionfortoolloadportusedforwaferoflessthanorequalto200mmdiameter
摘要:本标准规定了晶圆承载器与晶圆制造/检测设备之间的机械端口要求,主要包括晶圆承载器在设备上的位置和方向。本标准适用于加工直径200mm及以下晶圆的半导体设备装载端口。
标准编号:SJ/T11761-2020
标准类型:
发布单位:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2020年1月1日
强制性标准:否
实施日期:2021年1月1日
关键词:
SJ/T 11761-2020 200 mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范.pdf
2024-9-26 10:53 上传
SJT 11761-2020 200 mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范.pdf
文件大小:
2.71 MB
下载次数:
60
高速下载
装载
,
端口
,
半导体设备
【温馨提示】 您好!以下是下载说明,请您仔细阅读: 1、推荐使用360安全浏览器访问本站,选择您所需的PDF文档,点击页面下方“本地下载”按钮。 2、耐心等待两秒钟,系统将自动开始下载,本站文件均为高速下载。 3、下载完成后,请查看您浏览器的下载文件夹,找到对应的PDF文件。 4、使用PDF阅读器打开文档,开始阅读学习。 5、使用过程中遇到问题,请联系QQ客服。 本站提供的所有PDF文档、软件、资料等均为网友上传或网络收集,仅供学习和研究使用,不得用于任何商业用途。 本站尊重知识产权,若本站内容侵犯了您的权益,请及时通知我们,我们将尽快予以删除。
回复
举报
相关帖子
•
某客户IPRAN专线电路端口速率限速分析
•
双端口微带线法测量羰基铁复合材料的屏蔽效能研究
•
适用于新能源发电系统的三端口DCDC变换器研究
•
三端口柔性多状态开关有限集模型预测控制
•
具备自适应重合闸能力的多端口混合式直流断路器
•
面向光储泵提水系统的多端口变换器
•
基于端口频域特性的直驱风电机组控制器黑灰箱辨识
•
基于端口互动模式的入侵检测模型
•
LDT 6001.3-2023 社会保障卡检测规范 第3部分:卡内数据结构及密钥装载检测(通用性检测)
•
TBT 3079.7-2016 铁路货物装载加固材料和装置 第7部分:焦炭网
•
TBT 30004-2021 铁路货物装载加固技术要求
•
YDT 4799-2024 端口控制协议代理(PCP proxy)技术要求
•
微电网多端口变换器拓扑结构研究综述
•
离网式三端口风光互补抽水切换策略研究
•
电力电子变压器直流端口传感器位置选取方法
•
基于二端口阻抗模型的ES越限失效机理分析与控制方法
•
蜂巢状有源配电网中多端口能量枢纽控制策略
•
一种新型双端口三电平变换器
•
三端口柔性多状态开关多模式平滑切换控制策略
•
多端口电感耦合型直流限流断路器快速重合闸策略
返回列表
发布新帖
推荐下载
1
T_ZAWS 001-2024 加氢站用高压氢气管道安装及检测规范
2
T_CISA 370.1-2024 钢铁企业厂区内设备、管道及附属结构涂料防腐蚀工程技术规范 第1部
3
DB3201_T 1185-2024 燃气用聚乙烯管道定期检验技术规范
4
T_CSCP T_CSCP0004-2024 轨道交通动态杂散电流对埋地钢质管道腐蚀干扰评价方法
5
GBT 41666.4-2024 地下无压排水管网非开挖修复用塑料管道系统 第4部分:原位固化内衬
6
T_CCCTA 0052-2024 溯源非金属管道元件质量控制规范
7
T_CSGPC 030-2024 排水管道检测评估成果质量检查与验收
8
T_CISA 370.3-2024 钢铁企业厂区内设备、管道及附属结构涂料防腐蚀工程技术规范 第3部
能源电力
光伏发电
风力发电
电动储能
电力行业
电网
化工
压力容器
管道
特种设备
化学分析
试剂
建筑工程
钢结构
设计规范
施工
检测
地质勘探
机械
无损检测
阀门
起重机
数控
焊接
电子信息
电子
电路
半导体
集成电路
信息技术
医药
常见病
中西医结合
高血压
养生
传染病
科学
天文地理
农业
气象
艺术
教育
手机访问
微信扫一扫
联系QQ客服
QQ扫一扫
2022-2025
新资汇 - 参考资料免费下载网站
最近更新
浙ICP备2024084428号
关灯
返回顶部
快速回复
返回顶部
返回列表