SJT 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法

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admin 发表于 2024-9-26 10:51 | 查看全部阅读模式

劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法
Requirementsofreadinessandmethodsofinspectionandassessmentforcleavergrindingunits

摘要:本标准规定了半导体集成电路生产用陶瓷劈刀研磨装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于KIKO型劈刀研磨装置，结构类似的其它型号的劈刀研磨装置，亦可参照执行。

标准编号：SJ/T31095-1994
标准类型：
发布单位：CN-SJ
发布日期：1994年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1994年1月1日
关键词：劈刀研磨装置,完好要求,检查评定方法

SJ/T 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法.pdf

2024-9-26 10:51 上传

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劈刀, 研磨, 评定, 装置, 检查

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