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JBT 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
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[JB机械]
JBT 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
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admin
发表于 2024-9-25 16:39
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单晶炉TDR系列直拉法单晶炉
CrystalgrowingfurnacesTDR-seriescrystalgrowingfurnacesbyCzochralskimethod
摘要:本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求,包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。 本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
标准编号:JB/T10439-2004
标准类型:
发布单位:CN-JB
发布日期:2004年1月1日
强制性标准:否
实施日期:2004年1月1日
关键词:工业电热设备,单晶炉,直拉法
JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉.pdf
2024-9-25 16:39 上传
JBT 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉.pdf
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10439-2004
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