[JB机械] JBT 12067-2014 TDL-GX 硅芯生长炉

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admin 发表于 2024-9-25 16:27 | 查看全部阅读模式

TDL-GX硅芯生长炉
TDL-GXsiliconcoregrowingfurnace

摘要:本标准规定了对TDL-GX硅芯生长炉(简称硅芯炉)产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订购和供货等。本标准适用于高频感应加热、采用基座法生长硅基发热载体的设备。

标准编号：JB/T12067-2014
标准类型：
发布单位：CN-JB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2014年1月1日
关键词：

JB/T 12067-2014 TDL-GX 硅芯生长炉.pdf

2024-9-25 16:27 上传

JBT 12067-2014 TDL-GX 硅芯生长炉.pdf

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