JBT 8554-1997 气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验法

气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验法
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摘要:本标准规定了测定气相沉积TiN|(x)等硬质薄膜-基体界面耐金刚石压头划剥性能的试验方法。本标准适用于气相沉积的硬质薄膜，也适用于气相沉积的注滑薄膜。对任何特定的应用，所规定的试验方法可用补充资料加以完善。这些资料应来自相应的国际标准、先进工业国家标准或国家标准、行业标准及其他相应文件，必要时，也可由测试和送样双方协商提出相应文件。

标准编号：JB/T8554-1997
标准类型：
发布单位：CN-JB
发布日期：1997年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1998年1月1日
关键词：气相沉积薄膜,沉积薄膜,附着力,划痕试验,试验方法

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